دستگاه لایه نشانی صنعتی به روش قوس کاتدی

معرفی محصول

لایه‌نشانی فیزیکی بخار (PVD) خانواده‌ بزرگی از روش‌های لایه‌نشانی در خلا می‌باشد که فرآیند‌هاي عمومي آن شامل: الف) تبخیر ماده از فاز جامد (تارگت) به بخار ب) انتقال بخارهای ماده، به صورت اتم‌ یا یون‌ها به داخل یک چمبر تحت خلا ج) برگشت به فاز جامد به فرم جدید و به صورت یک لایه نازک. لایه جدید ایجاد شده می‌تواند با اصلاح در ترکیب شیمیایی و ریزساختار همراه باشد.

مشخصات فنی